中國科學院合肥物質科學研究院成立于2003年5月，可追溯至2001年11月由原中國科學院合肥分院及安徽光學精密機械研究所、等離子體物理研究所、固體物理研究所合并而成的中國科學院合肥研究院；2003年5月，正式批復合并為中國科學院合肥物質科學研究院；2004年4月，合肥智能機械研究所劃歸該研究院。中國科學院合肥物質科學研究院購買了：慢應變速率應力腐蝕試驗機。